至纯科技作为最初的高纯工艺系统的配套服务商，其总体营收在2023年达到31.51亿元

一、业务情况

上海至纯洁净系统科技股份有限公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务。

2023年上海至纯洁净系统科技股份有限公司各地区营收数据

二、核心竞争力分析

公司目前已经向关键制程设备、工艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务方向发展，为半导体及相关高科技新兴产业客户提供湿法工艺整体解决方案。

1、丰富的技术储备和竞争优势

系统集成及支持设备方面，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，公司工艺水平已能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。

制程设备方面，产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本，是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，单片式、槽式湿法设备得到客户认可。

电子材料和零部件方面，公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，能够为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应，成为国内首座国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂；截止当前，集团累计申请专利733件，已授权专利487件（其中发明专利154件），软件著作权170件，注册商标136件。

2、优质的客户资源

公司在泛半导体、光纤通信、生物医药、食品饮料等行业中形成了良好的口碑和信誉，核心客户均为国内知名企业，如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士、北京燕东、TI、华润微等。

单位：亿元

数据源自：贝哲斯根据公开资料整理